檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "鄧昭瑞".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="疊紋"
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本文提出一套利用疊紋法量測藍寶石晶圓翹曲量的偵測技術,其系統架構簡單且架設容易。此系統由一發光二極管光源(LED)、一線性光柵片、一電荷耦合元件(CCD) 攝影機及數個光學元件所組成。藉由疊紋法的技…